А-КОНТРАКТ приняла участие в выставке «РосГазЭкспо – 2019»

|   А-КОНТРАКТ на выставках

С 1 по 4 октября 2019 в Санкт-Петербурге состоялась выставка «РОС-ГАЗ-ЭКСПО- 2019»

Далее

А-КОНТРАКТ на выставке «РОС-ГАЗ-ЭКСПО»

|   А-КОНТРАКТ на выставках

Приглашаем посетить наш стенд В 2.2 на выставке «РОС-ГАЗ-ЭКСПО», которая состоится с 1 по 4 октября 2019 г. в конгрессно-выставочном центре...

Далее

Учёные нашли способ создания приборов нитрида галлия на кремниевой подложке диаметром 150 мм

|   Новости и обзоры отрасли

Известно, что нитриды галлия, в отличие от своего аналога – арсенида галлия, дают возможность создавать СВЧ- устройства, обладающие большей мощностью и функционирующие при больших температурах. До недавнего времени устройства, изготавливаемые в России, с использованием нитрида галлия требовали кремниевой подложки диаметром в 100 мм. Однако в лаборатории элементной базы наноэлектроники кафедры «Квантовая физика и наноэлектроника» МИЭТ разработали метод, позволяющий изготавливать пластины нитрида галлия на кремниевой подложке диаметром 150 мм. Данное открытие стало прорывным в области технологий по СВЧ-элементной базе и вошло в программу развития Центра компетенций НТИ «Сенсорика», открытого на базе МИЭТ в прошлом году.

Первые опыты и результаты

Физические принципы создания приборов нитридной группы вывел Ж.И. Алферов в тот период изучения лазеров. На базе его разработок начали изготовление деталей и микросхем для СВЧ-приборов -  нитридные гетероструктуры. Однако высокая стоимость таких устройств делала технологию нерентабельной. В поисках способов уменьшения цены было исследователи попробовали соединить технологию, которая используется в мире для распространенных кремниевых подложек с диаметром 500 мм, и СВЧ-технологии с диаметром 50 мм. Но полностью перейти на больший диаметр не позволяло отсутствие отработанных надежных технологий изготовления. Тогда начали разрабатывать способ производства нитрида галлия на кремнии.

Первые российские устройства изготовили в МИЭТ в 2012 году на подложках нитрида галлия на кремнии диаметром 50 мм. А в 2017 г. в МИЭТ уже вовсю занимались технологией изготовления нитрида галлия на подложках кремния диаметром 150 мм.

«Мы понимали, что если у нас это получится, то мы будем обладать технологиями мирового уровня, – рассказывает ведущий научный сотрудник МИЭТ, заведующий лабораторией «Элементная база наноэлектроники» кафедры «Квантовая физика и наноэлектроника» Владимир Егоркин. – Фирмы с мировым именем держат в секрете технологии изготовления таких пластин и составы рабочих структур, при том, что бизнес уже давно говорит о мощнейших характеристиках приборов на них».

И это верно: заграницей существует услуга по выращиванию структуры по ТЗ заказчика, при этом вся ответственность за «дизайн» структуры лежит на заказчике. Ведь чтобы понять и смоделировать такую структуру, нужно быть высококвалифицированным специалистом в области физики полупроводниковых приборов.

Исследователи из МИЭТ сумели разработать, просчитать и произвести СВЧ устройства на пластинах диаметром 150 мм,  а также создали опытные экземпляры сверхмощных СВЧ-приборов, обладающие характеристиками, сравнимыми с зарубежными аналогами.

«Овладев этой технологией, мы получили пробивное напряжение в районе 250 вольт! Сравните, у арсенида галлия, который использовался ранее, напряжение равняется 25 вольтам, – говорит Владимир Егоркин. – Такие мощности особенно важны для внедрения в России пятого поколения мобильной связи. Количество подложек для производства СВЧ-приборов для телекоммуникаций можно сократить в два раза! Это, безусловно, существенно отразится на стоимости готовых микросхем».

На сегодняшний день исследователи из МИЭТ находятся на этапе завершения процесса идеологии, создания алгоритмов и выбирают частотные диапазоны для того чтобы запустить производство микросхем на диаметре 150 мм для отечественных СВЧ-приборов нитрида галлия.

Источник: rlocman.ru

Назад