Эффект характеризуется наличием бокового подтравливания под фотомаску во время травления меди, что становится причиной ситуации, при которой размер апертур превышает размеры окна в фотомаске.
Подтравливание
- термин: Подтравливание
- англ. Undercutting
- значение термина:
Нежелательный процесс, возникающий в ходе изготовления трафаретов посредством химического травления.
- Cинонимы, переводы: Undercutting, Боковое подтравливание проводника
- Тип термина: definition
- Язык термина (ISO код): ru