Химическое осаждение из газовой фазы
- термин: Химическое осаждение из газовой фазы
- англ. Chemical Vapor Deposition
- значение термина:
Нанесение пленки на поверхность подложки путем химического восстановления пара при контакте с основным материалом.
- Cинонимы, переводы: Chemical Vapor Deposition
- Тип термина: definition
- Язык термина (ISO код): ru