Разработана технология изготовления комплексированных инерциальных навигационных систем на российской компонентной базе
Разработка имеет важное значение в свете активного развития данных отраслей, для чего требуются современные высокотехнологичные электронные устройства, в том числе и навигационные приборы.
Групповые технологии, используемые специалистами РКС, позволяют размещать на одной пластине чувствительные элементы с одинаковой геометрией. Исследователи разработали метод серийного изготовления таких пластин, что даёт возможность уйти от «ручного» поштучного производства, а, следовательно, увеличить точность и повторяемость геометрических размеров объемных микроструктур.
Работы над этим проектом начались еще в 2007г. Результатом усилий исследователей стала технология групповой обработки кварцевых и кремниевых микрокомпонентов, которая включает в себя множество техпроцессов: формирование тонкопленочных диэлектрических и проводящих слоев, фотолитографию, жидкостное и плазмохимическое селективное травление, и другие. Важно отметить, что высокотехнологичные чувствительные элементы производятся из отечественных материалов.
В РКС сообщают, что в серии микрокомпонентов, изготовленных по новой технологии, количество годных изделий составляет 70%, что на 40% выше, чем у продукции, изготовленной по другим методам. Более того, специалистам удалось достичь высокой точности кремниевых элементов микроэлектромеханической системы акселерометров и гироскопов – вплоть до 1 микрометра, а точность микрообработки кварцевых чувствительных элементов выросла в 5 раз по сравнению с традиционными технологиями.
Акселерометры и гироскопы, оснащённые новыми микрокомпонентами, будут иметь меньший вес и более низкое энергопотребление, а значит, смогут продемонстрировать большую эффективность при работе в жёстких условиях открытого космоса. Планируется, что такие приборы будут использоваться в системах управления и автономной навигации ракет-носителей, на орбитальных аппаратах, межпланетных и спускаемых модулях, а в дальнейшем найдут своё применение во всех типах космических устройств от кубсатов до межпланетных станций.
Однако космические аппараты – не единственная область, в которой используются микрокомпоненты. Они имеют широкое распространение в промышленном машиностроении, транспорте, авиации, беспилотных системах, в портативных устройствах и др.
По материалам russianspacesystems.ru