Гибкость многослойных керамических конденсаторов. Часть 3

|   Статьи А-КОНТРАКТ

При поддержке компании А-КОНТРАКТ в журнале «Технологии в электронной промышленности» № 6’2020 опубликована новая статья «Гибкость многослойных...

Далее

Гибкость многослойных керамических конденсаторов. Часть 2

автор Перевод: Сергей Шихов | |   Статьи А-КОНТРАКТ

При поддержке компании А-КОНТРАКТ в журнале «Технологии в электронной промышленности» № 6’2020 опубликована новая статья «Гибкость многослойных...

Далее

Проводящие покрытия для электронной литографии на диэлектрических подложках.

автор Александр Скупов |

При проведении электронной литографии на диэлектрических подложках необходимо, чтобы поверх электронного резиста находился проводящий слой, поскольку диэлектрик при экспонировании электронным лучом накапливает электрический заряд и тем самым препятствует дальнейшему экспонированию. В данной статье мы постарались описать актуальные решения, дающие возможность создавать проводящие слои для электронной литографии на диэлектрических подложках. Большое внимание уделено полимерным проводящим покрытиям.

Существуют ситуации, когда технологам необходимо провести электронную литографию на диэлектрических подложках. Например, при экспонировании железоокисных фотошаблонов, создании нано- и микроструктур на пластинах кварца, сапфира или стекла (например, штампов для наноимпринтной литографии). При экспонировании таких подложек электронным лучом диэлектрик накапливает заряд, который отклоняет летящие к подложке электроны и делает невозможным дальнейшее экспонирование резиста (пример негативного воздействия показан на РИС.12). Данную проблему можно решить двумя способами:

  1. напылением поверх электронного резиста тонкого слоя металла
  2. нанесением проводящего полимерного покрытия методом центрифугирования.

По материалам: ВЕКТОР высоких технологий №2 (31) 2017

Назад