А-КОНТРАКТ: мы внедряем Индустрию 4.0 в контрактное производство электроники

|   Статьи А-КОНТРАКТ

В журнале "Компоненты и Технологии" №8, 2021 было опубликовано интервью с руководителями А-КОНТРАКТ, Максимом Поляничко и Сергеем Фёдоровым. Статья...

Далее

Информация по применению серии AN-007 сравнительный обзор полупроводниковых приборов, выполненных на основе GaN, Si и GaAs для ВЧ- и СВЧ-устройств.

|   Статьи А-КОНТРАКТ

Часть 2.

При поддержке А-КОНТРАКТ в журнале «СВЧ-электроника» №2' 2021 опубликована новая статья.

 

Далее

Проводящие покрытия для электронной литографии на диэлектрических подложках.

автор Александр Скупов |

При проведении электронной литографии на диэлектрических подложках необходимо, чтобы поверх электронного резиста находился проводящий слой, поскольку диэлектрик при экспонировании электронным лучом накапливает электрический заряд и тем самым препятствует дальнейшему экспонированию. В данной статье мы постарались описать актуальные решения, дающие возможность создавать проводящие слои для электронной литографии на диэлектрических подложках. Большое внимание уделено полимерным проводящим покрытиям.

Существуют ситуации, когда технологам необходимо провести электронную литографию на диэлектрических подложках. Например, при экспонировании железоокисных фотошаблонов, создании нано- и микроструктур на пластинах кварца, сапфира или стекла (например, штампов для наноимпринтной литографии). При экспонировании таких подложек электронным лучом диэлектрик накапливает заряд, который отклоняет летящие к подложке электроны и делает невозможным дальнейшее экспонирование резиста (пример негативного воздействия показан на РИС.12). Данную проблему можно решить двумя способами:

  1. напылением поверх электронного резиста тонкого слоя металла
  2. нанесением проводящего полимерного покрытия методом центрифугирования.

По материалам: ВЕКТОР высоких технологий №2 (31) 2017

Назад