Система способна обнаруживать объёмные и поверхностные дефекты в полупроводниковых пластинах. Разработанное устройство представляет собой инфракрасный сканер, применение которого поможет отбраковывать некачественные пластины, что, в свою очередь, повысит качество конечных полупроводниковых приборов.
ИК-сканер является наилучшим решением задачи контроля качества интегральных микросхем, поскольку позволяет выполнять исследование дефектов в структуре пластин быстрее, чем при использовании альтернативных способов. Кроме того, важно отметить относительно невысокую стоимость применения данного метода контроля.
На сегодняшний день разработка проходит этап тестовой эксплуатации на производственной площадке НИИ приборостроения им. В. В. Тихомировича.
По материалам gt-tomsk.ru