Проводящие покрытия для электронной литографии на диэлектрических подложках.

13.03.2018 | Статьи Материалы, полупроводники ● Александр Скупов

При проведении электронной литографии на диэлектрических подложках необходимо, чтобы поверх электронного резиста находился проводящий слой, поскольку диэлектрик при экспонировании электронным лучом накапливает электрический заряд и тем самым препятствует дальнейшему экспонированию. В данной статье мы постарались описать актуальные решения, дающие возможность создавать проводящие слои для электронной литографии на диэлектрических подложках. Большое внимание уделено полимерным проводящим покрытиям.

Существуют ситуации, когда технологам необходимо провести электронную литографию на диэлектрических подложках. Например, при экспонировании железоокисных фотошаблонов, создании нано- и микроструктур на пластинах кварца, сапфира или стекла (например, штампов для наноимпринтной литографии). При экспонировании таких подложек электронным лучом диэлектрик накапливает заряд, который отклоняет летящие к подложке электроны и делает невозможным дальнейшее экспонирование резиста (пример негативного воздействия показан на РИС.12). Данную проблему можно решить двумя способами:

напылением поверх электронного резиста тонкого слоя металла
нанесением проводящего полимерного покрытия методом центрифугирования.

Читать полный текст статьи «Проводящие покрытия для электронной литографии на диэлектрических подложках».

По материалам: ВЕКТОР высоких технологий №2 (31) 2017