II. QFN MMIC УСИЛИТЕЛЬ KU-ДИАПАЗОНА С ВЫСОКИМ УСИЛЕНИЕМ
A. Высокомощный усилитель MMIC
Компактный MMIC усилитель с высокой мощностью (Рис.2) был произведен по технологии PHEMT с двойным пазом/двусторонним легированием Celeritek с остановкой травления, с использованием оптической установки совмещения и последующего шагового мультиплицирования, записанного на серебряных Т-затворах 0,3 мкм на 4’’ пластинах. MMIC реализованы на подложке 3 мил, с двумя уровнями металлизации золотом, с тонкопленочными резисторами 50 Ом/кв TaN, с нитрид кремниевыми MIM конденсаторами 400 пФ/мм2, воздушными мостами и переходными отверстиями 50 мкм. Измеренный слабый сигнал S21 (корпусированный и установленный) показан на Рис.3. Для того, чтобы получить высокое усиление >30дБ в инкапсулированном корпусе, необходимо так спроектировать MMIC, чтобы поглотить паразитные эффекты, привнесенные инкапсулированием. Кроме того, было спроектировано дополнительное усиление, чтобы компенсировать эффекты обратной связи от корпусирования.
