Актиничное излучение (actinic radiation) представляет собой оптическое излучение, способное вызывать фотохимические изменения в чувствительных к свету материалах . В технологии производства печатных плат (printed circuit board) данное понятие имеет определяющее значение для процессов фотолитографии (photolithography) — ключевого этапа формирования проводящего рисунка.
При изготовлении фотошаблонов (phototool) и непосредственном экспонировании заготовок плат, покрытых фоторезистом (photoresist), используется именно актиничное излучение. Под его воздействием в светочувствительном слое происходят необратимые химические реакции — полимеризация (отверждение) или деструкция (разрушение) полимерных связей, в зависимости от типа фоторезиста (негативный или позитивный). Это позволяет перенести изображение с фотошаблона на поверхность платы с высокой точностью.
На практике в качестве источников актиничного излучения в производстве печатных плат используются:
-
Ультрафиолетовые (УФ) лампы с длиной волны в диапазоне 350–450 нм, традиционно применяемые в контактной и близконтактной фотолитографии.
-
Лазерные источники (DIL — direct imaging laser), которые обеспечивают высокое разрешение при прямом экспонировании, особенно в производстве плат высокой плотности (HDI — high-density interconnect).
Ключевым свойством актиничного излучения является его способность инициировать именно фотохимические, а не тепловые процессы. Это отличает его от других видов излучения. От правильного выбора дозы экспозиции (энергии актиничного излучения, достигающего поверхности) напрямую зависит качество формируемого рисунка. Недостаточная экспозиция приводит к неполному проявлению рисунка, а чрезмерная — к расплыванию границ (потере разрешения) и ухудшению адгезии фоторезиста к меди.
Стандартизация термина и характеристик актиничного излучения в области электроники закреплена в Международном электротехническом словаре (МЭК 60050-845), где актиничность определяется как свойство оптического излучения вызывать фотохимические изменения . Требования к источникам актиничного излучения и контролю процесса экспонирования регламентируются в стандартах на фоторезисты и технологические процессы изготовления печатных плат.
Источники: IPC-T-50, IEC 60050-845 (ГОСТ Р МЭК 60050-845-2023), техническая литература по фотолитографии и производству печатных плат.