Фоторезист (Photoresist) — это светочувствительный полимерный материал, используемый в фотолитографии (photolithography) для формирования проводящего рисунка (conductor pattern) на печатной плате (printed board). При экспонировании через фотошаблон (photomask) фоторезист изменяет свою растворимость в определённых химических реагентах, создавая защитную маску для последующих процессов травления (etching) или гальванического осаждения (electroplating).
Классификация и типы
Фоторезисты классифицируются по их реакции на воздействие света:
-
Негативные фоторезисты (negative photoresist) — засвеченные области становятся нерастворимыми
-
Позитивные фоторезисты (positive photoresist) — засвеченные области становятся растворимыми
Технология процесса
Процесс работы с фоторезистом включает несколько этапов:
-
Подготовка поверхности (surface preparation) — очистка и повышение адгезии
-
Нанесение фоторезиста (photoresist application) — методом центрифугирования, распыления или ламинирования
-
Сушка (prebake) — удаление растворителей
-
Экспонирование (exposure) — через фотошаблон или прямым лазерным записыванием
-
Проявление (development) — удаление растворимых участков
-
Термообработка (post-exposure bake) — закрепление изображения
Ключевые параметры
Основные характеристики фоторезистов:
-
Светочувствительность (photosensitivity) — минимальная энергия экспонирования
-
Разрешающая способность (resolution) — минимальный размер элементов изображения
-
Контрастность (contrast) — крутизна перехода между экспонированными и неэкспонированными областями
-
Стойкость к травителям (etch resistance) — способность выдерживать агрессивные химические среды
Области применения
В производстве печатных плат фоторезисты используются для:
-
Формирования проводящего рисунка (conductor pattern) субтрактивным методом
-
Создания паяльной маски (solder mask)
-
Изготовления металлизированных отверстий (plated-through hole)
-
Производства печатных резисторов (printed resistor) и конденсаторов (capacitor)
Источники: Технология и требования к фоторезистам регламентированы стандартами IPC-4101 и IPC-4552.