Рабочая зона фотошаблона (Photomask Image Area) — это центральная область фотошаблона (photomask), содержащая все элементы топологии (pattern), которые должны быть перенесены на слой печатной платы (printed board) в процессе фотолитографии (photolithography). Эта зона непосредственно формирует изображение проводящего рисунка (conductor pattern), контактных площадок (land) или элементов паяльной маски (solder mask).
Структура фотошаблона
Помимо рабочей зоны, фотошаблон включает технологическое поле (tooling area), расположенное по её контуру. Технологическое поле содержит совмещающие метки (registration marks), контрольные шкалы (measurement scale) и другую служебную информацию, необходимую для контроля качества и точного позиционирования при экспонировании.
Требования к качеству
К рабочей зоне предъявляются строгие требования:
-
Высокая точность размеров (dimensional accuracy) элементов
-
Отсутствие дефектов (defect) (трещины, затемнения, посторонние включения)
-
Резкие и чёткие границы всех элементов топологии
-
Оптическая плотность, обеспечивающая необходимое контрастное отношение
Контроль параметров
Контроль рабочей зоны осуществляется с помощью:
-
Автоматических оптических микроскопов (automated optical microscope)
-
Координатно-измерительных машин (coordinate measuring machine)
-
Сканирующих электронных микроскопов (scanning electron microscope) для особо точных шаблонов
Особенности для разных технологий
В зависимости от типа формируемого слоя рабочая зона может иметь специфические особенности:
-
Для проводящих слоёв (conductor layer) — содержит рисунок проводников и контактных площадок
-
Для паяльной маски (solder mask) — определяет области открытых контактных площадок
-
Для маркировки (marking) — включает символы и обозначения
Источники: Требования к фотошаблонам и их рабочим зонам установлены в стандартах IPC-6012 и ГОСТ Р 53429-2009.