Уникальная установка для ядерного легирования кремния предельно большого диаметра — более 200 мм, была запущена для промышленного применения на базе исследовательского реактора Томского политехнического университета (ТПУ). Следует отметить, что в мире таких установок лишь несколько, а в России –…