Специалисты РОСКОСМОС анонсировали новую технологию изготовления маятниковых узлов акселерометров

 Также применение микромеханических маятниковых узлов чувствительных элементов акселерометров обеспечивает возможность создания большого спектра устройств, предназначенных для систем навигации и управления объектами.

Заместитель руководителя отдела разработки микромеханических систем РКС Андрей Корпухин рассказывает, что в центре микроэлектроники РКС имеются 2 новые технологии массового производства кремниевых маятниковых узлов емкостного и компенсационного типа, а также тесть технология серийного изготовления   кварцевых маятниковых узлов компенсационного типа.

На данный момент на базе данной разработки в РКС запущено мелкосерийное производство емкостных и компенсационных кремниевых маятниковых узлов.

Следует отметить, что новые технологии предполагают применение пластин 100мм, что даст возможность существенно уменьшить финансовые вложения в производство новых устройств.

Разработка РКС получила признание в виде золотых медалей на двух значимых мероприятиях - Московском Международном салоне изобретений «Архимед» и  Международной выставке инноваций и изобретений в Макао .

Источник: russianspacesystems.ru