Исследователи Центра «Радиоэлектронные приборы, микроэлектроника и нанотехнологии», созданного при ДГТУ изучают ионно-плазменные методы получения тонких пленок карбида кремния, нитрида алюминия и твердых растворов на их основе. Данные разработки помогут обеспечить импортозамещение ряда электронных…