Российские учёные создадут приборы микросистемной техники для миниатюрных сенсоров

Напомним, что МЭМС — это микроминиатюрные устройства, в которых электроника скомбинирована с механикой. Сферами применения МЭМС являются системы мониторинга различных физических параметров, таких как резонаторы, гироскопы, микромоторы, акселерометры и микромеханические переключатели, которые, в свою очередь, лежат в основе систем сенсорики для мобильной, потребительской, автомобильной, промышленной и бортовой аппаратуры гражданского и специального назначения.

Учёные Южного федерального университета разрабатывают отечественные МЭМС, выполняя весь спектр работ от проектирования и моделирования до производства и испытаний экспериментальных образцов изделий. Целью проекта является создание технологии инкапсуляции элементов МЭМС в слоях кремниевой пластины, что поможет реализовать их коммерческий потенциал и поможет отказаться от зарубежных решений в производстве миниатюрных сенсоров.

Кроме того, в задачу учёных входит проектирование процедуры внедрения новых разработок в процесс серийного производства устройств электроники. С этой целью налажено тесное взаимодействие с производственными предприятиями.

По материалам tass.ru